单向流洁净室一般有两种类型,净化车间,即水平流和垂直流。在水平流系统中,净化车间,气流是从一面墙流向另一面墙。在垂直流系统中,气流是从吊顶流向地面。对要求洁净室的悬浮粒子浓度或微生物浓度---的场合,
就使用单向气流。以前称这类洁净室为“层流”洁净室。单向流和层流的名称均说明了其气流的状况:气流以一个方向流动(或是垂直的或是水平的),并以一般是0.3米/秒至0.5米/秒(60英尺/分钟至100英尺/分钟)的均速流过整个空间。由满布洁净室吊顶的过滤器向室内送风。
20世纪70~80年代为第二阶段,装修净化车间,可称为蓬勃发展阶段。这一时期,计算机技术、控制技术、通信技术的发展,为机电一体化的发展奠定了技术基础。---、---规模集成电路和微型计算机的迅猛发展,为机电一体化的发展提供了充分的物质基础。
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