所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在---集成电路生产的光刻---工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片,实验净化车间,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀
电子厂净化车间与室外的静压差不应小于10pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5pa。电子厂净化车间内的新鲜空气量应取下列二项中的值: (1)补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。
在选择电气设备时应充分考虑这些因素。三、洁净室的防爆电气设备在制造半导体的洁净室和制造---、生物制品、食品的洁净室中,常常大量使用。在制造粉末---或食品的工厂中,有产生粉尘的危险性。
实验净化车间由福建省乾禹建设工程有限公司提供。福建省乾禹建设工程有限公司为客户提供“机电工程,净化车间,建筑装修,净化工程”等业务,公司拥有“乾禹建设”等品牌,---于门窗五金等行业。,在厦门市湖里区嘉禾路388号永同昌大厦702单元的名声---。欢迎来电垂询,联系人:张经理。
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